纳米二次离子探针质谱仪，简称NanoSIMS，是一种基于二次离子质谱技术的微区分析仪器，由法国CAMECA公司制造，常见型号为NanoSIMS 50L 。该仪器主要用于固体样品的同位素和微量元素分布及含量的原位分析 。
纳米离子探针具有高空间分辨率（束斑小于50纳米）、高传输效率和高灵敏度等特点，并配备7个质量分析器，可同时分析7种元素或同位素 。其应用领域涵盖地球科学、比较行星学、环境科学、生物科学和材料科学等 。在中国嫦娥五号月壤样品的研究中，该仪器被用于分析矿物表层的水含量 。
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